2CRDはNovatecの微細・高精密洗浄向け標準プラットフォームです。4タンク構成で真空下の洗浄と乾燥を行い、回転式または揺動式バスケットをオプションで選択可能。
| タイプ | バスケットサイズ (W × D × H) | 動作 |
|---|---|---|
| 2CRD-100 | 300 × 400 × 300 mm | 静止 |
| 2CRD-100-ROT | 220 × 320 × 200 mm | 回転 & 揺動 |
| 2CRD-200 | 400 × 600 × 430 mm | 静止 |
| 2CRD-200-ROT | 320 × 470 × 300 mm | 回転 & 揺動 |
| 2CRD-400 | 500 × 820 × 500 mm | 静止 |
| 2CRD-400-ROT | 470 × 670 × 300 mm | 回転 & 揺動 |
| 2CRD-800 | 600 × 1050 × 630 mm | 静止 |
| 2CRD-800-ROT | 600 × 800 × 400 mm | 2× 608 × 408 × 400 | 回転 & 揺動 |
* -ROT: 回転方向選択可能な回転・揺動バスケット。
2CRD単槽精密洗浄装置は標準で4槽構成:洗浄槽2つ、すすぎ槽2つに加え、追加の真水または超純水すすぎを装備。洗浄・すすぎ・乾燥工程は真空下または圧力変動プロセス(pressure pulse)で行われ、洗浄・すすぎ媒体が微細な穴、止まり穴、アンダーカット、内部形状にも到達します。複雑形状部品の精密・超精密洗浄に最適です。
各槽は戻りラインに絶対フィルタを備え、槽1にはオイルセパレータ、最終すすぎ槽(槽4)には導電率監視を装備——VDA 19およびISO 16232に準拠した部品清浄度を再現性高く実現します。カラーグラフィック表示(12インチHMI)で操作、16個の自由プログラム可能な洗浄プログラム(各16サブステップ)を備えます。
オプション:方向選択可能な回転式または揺動式バスケット(-ROTバージョン)、標準で真空下の圧力変動プロセス、熱風または真空乾燥、オプションのクリーンルーム仕様。すべてのプロセスステップは組み合わせ可能・再現可能で、異なる薬液による2回連続の洗浄サイクルにも対応します。
残留物を検出限界以下に抑える再現性の高い表面処理。お客様仕様に基づくバリデーション可能。
インプラント、外科器具、コンポーネント — 生体適合性の洗浄、完全な文書化に対応。
穴、アンダーカット、厳しい公差のある部品。必要に応じて圧力交番方式に対応。
材質ごとに材料を守る薬液。水系または改質洗浄液。
ウェハーハンドリング部品、フロントエンド機器、真空チャンバー部品の低パーティクル精密洗浄。クラス7クリーンルーム仕様も対応可能。
パンチ、ダイス、射出成形金型 — 分解不要であらゆる形状の奥まで到達。









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